发明名称 | 光学检查探头 | ||
摘要 | 一种光学检查探头,该光学检查探头用于得到和提供将要检查的物体的图像。所述光学检查探头包括:成像组件,该成像组件用于捕获物体的图像;以及照明组件,该照明组件用于产生被朝向物体引导的光束。该光学检查探头被构造成使得所述光束会聚在位于第一焦平面的焦点处。 | ||
申请公布号 | CN102037309A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
申请号 | CN200980117889.9 | 申请日期 | 2009.05.19 |
申请人 | 瑞尼斯豪公司 | 发明人 | 尼古拉斯·约翰·韦斯顿;亚历山大·戴维·麦肯德里克 |
分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人 | 邵毓琴 |
主权项 | 一种光学检查探头,该光学检查探头包括:成像组件,该成像组件用于捕获物体的图像;以及照明组件,该照明组件用于产生被朝向所述物体引导的光束,并且该光束会聚在位于第一焦平面的焦点处。 | ||
地址 | 英国格洛斯特郡 |