发明名称 |
一种测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d<sub>33</sub>的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33的方法,该氧化锌纳米棒阵列薄膜是通过溶液法在金属锌基底上制备所得的c轴择优取向的阵列薄膜,该测量方法是基于激光多普勒原理的激光测振法。包括以下步骤:(1)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上表面镀一层金属导电膜;(2)使用阻抗分析仪测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率f0;(3)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上下表面加电压U;(4)使用激光测振仪测量,在电压为U的条件下,谐振频率f0附近的氧化锌纳米棒阵列薄膜的振幅ΔL;(5)由公式ΔL=d33×U,计算可得氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33。该方法操作简单,可行性好,灵敏度高,测量准确。 |
申请公布号 |
CN102033169A |
申请公布日期 |
2011.04.27 |
申请号 |
CN200910176641.1 |
申请日期 |
2009.09.24 |
申请人 |
北京信息科技大学 |
发明人 |
苏燚;邹小平;程进 |
分类号 |
G01R29/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01R29/22(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33的方法,该氧化锌纳米棒阵列薄膜是用溶液法在金属锌基底上制备所得的c轴择优取向的阵列薄膜。包括以下步骤:(1)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上表面镀一层金属导电膜;(2)使用阻抗分析仪测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率f0;(3)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上下表面加电压U;(4)使用激光测振仪测量,在电压为U的条件下,谐振频率f0附近的氧化锌纳米棒阵列薄膜的振幅ΔL;(5)由公式ΔL=d33×U,计算可得氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33。 |
地址 |
100101 北京市朝阳区北四环中路35号 |