下一代网印系统

摘要

本发明的实施例提供一使用多网印腔室处理系统处理基板的设备及方法，其具有增加的系统产量、改善的系统可用时间、及改善的装置产量效能，同时在已处理的基板上维持可重复且准确的网印工艺。在一实施例中，该多网印腔室处理系统适于在一部分的多晶硅太阳电池生产线内部执行网印工艺，其中基板以所需的材料图案化，而后在一或多个后续的处理腔室中处理。

主权项

一种用于在一基板表面上沉积一图案化材料的设备，包含：一旋转致动器，其具有一旋转轴；一第一基板支撑和一第二基板支撑，其各自耦合至该旋转致动器；一第一输送带，其经定位以当该旋转致动器以一第一定向有角度地定位时，移送一基板至该第一基板支撑；一第二输送带，其经定位以当该旋转致动器以该第一定向有角度地定位时，接收来自该第一基板支撑的一基板；一第三输送带，其经定位以当该旋转致动器以该第一定向有角度地定位时，移送一基板至该第二基板支撑；及一第四输送带，其经定位以当该旋转致动器以该第一定向有角度地定位时，接收来自该第二基板支撑的一基板。