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发明名称
ATOMIC LAYER DEPOSITION METHODS
摘要
申请公布号
EP1561239(B1)
申请公布日期
2011.04.27
申请号
EP20030783399
申请日期
2003.11.12
申请人
US
发明人
US;US;US
分类号
H01L21/316;H01L21/285;C23C16/38;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/768
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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