一种基于大气压辉光的低温等离子体系统

摘要

本发明公开了一种基于大气压辉光的低温等离子体系统，涉及大气压辉光等离子体系统及相应液相注入引发化学反应体系，目的是解决现有等离子体液相注入系统存在液相易进入等离子体区造成不利影响的问题，包括至少两个由平板电极相对的空间构成的等离子体区；设置在上述等离子体区之间能够连续传送基材的传动机构；雾化器，用于将液相雾化后通入等离子体系统；气体入口，用于将工作气体通入体系；所述平板电极水平放置，等离子体区为水平的上下层结构，平板电极的一端连接有引导板，形成引导区，传动机构通过该引导区；气体入口设置在平板电极与引导板的连接处，气体入口进入的气流方向在两个等离子体区中分别与基材的运动方向相同或相反。

主权项

一种基于大气压辉光的低温等离子体系统，包括：至少两个由平板电极相对的空间构成的等离子体区；设置在上述等离子体区之间能够连续传送基材的传动机构；雾化器，用于将液相雾化后通入等离子体系统；气体入口，用于将惰性气体通入系统；其特征在于：所述平板电极水平放置，等离子体区为水平的上下层结构，平板电极的一端连接有引导板，形成引导区，用于保持气体的动态密封，传动机构通过该引导区；气体入口设置在平板电极与引导板的连接处；所述等离子体区中，至少一个用于基材表面的活化，至少有另一个用于反应；上述两个等离子体区分别设置有气体入口；用于基材表面活化的等离子体区内，传动机构的运动方向与气体入口进入的气流方向相同，用于反应的等离子体区内，传动机构的运动方向与气体入口进入的气流方向相反。