| 发明名称 | 具有改进破裂性能的棒形多晶硅 | ||
| 摘要 | 本发明涉及棒直径＞100mm的棒形多晶硅，其根据西门子方法通过沉积含硅气体得到，其中硅棒在反应器内冷却期间在沉积过程结束时与氢气接触，所得硅棒冷却后具有垂直的截面裂纹和/或具有特定大小的径向应力。 | ||
| 申请公布号 | CN102030331A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN201010290553.7 | 申请日期 | 2010.09.20 |
| 申请人 | 瓦克化学股份公司 | 发明人 | M·索芬 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 过晓东 |
| 主权项 | 棒直径＞100mm的棒形多晶硅，其根据西门子方法通过沉积含硅气体得到，其中硅棒在反应器内冷却期间在沉积过程结束时与氢气接触，其中选择氢气流速和/或压力，使得在所述的氢气流速和/或压力下，维持沉积温度所需的功率为沉积结束时功率的至少50％，但不少于5kW每1米棒长，并且冷却的硅棒具有垂直的截面裂纹和/或至少1×10‑4cm‑1的径向应力。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||