吸附用构件、使用其的吸附装置及带电粒子线装置

摘要

本发明涉及吸附用构件、使用其的吸附装置及带电粒子线装置。本发明提供一种吸附用构件，其载置于设置有多个吸引孔的吸附台上，保持被吸附在该吸附台上的对象物。吸附用构件具有能够拆装地载置于吸附台上的基板。基板具有：吸附区域，其配置对象物，且能够进行基于吸引孔的吸引；吸附遮断区域，其设置于该吸附区域的外周，且将多个吸引孔中的一部分吸引孔覆盖。

主权项

一种吸附用构件，载置于设置有多个吸引孔的吸附台上，且通过基于所述吸引孔的吸引而吸附对象物，所述吸附用构件的特征在于，具有能够拆装地载置于所述吸附台上的基板，所述基板具有：吸附区域，其载置所述对象物，且能够进行基于所述吸引孔的吸引而吸附所述对象物；吸附遮断区域，其设置于该吸附区域的外周，且将所述多个吸引孔中的一部分覆盖。