发明名称 |
一种三氯氢硅尾气加压处理装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气加压处理装置,该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器,所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。该装置的有益效果在于:一方面,不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机,延长了压缩机的使用寿命。另一方面,降低了后续冷凝的冷媒消耗。 |
申请公布号 |
CN201807210U |
申请公布日期 |
2011.04.27 |
申请号 |
CN201020651685.3 |
申请日期 |
2010.12.10 |
申请人 |
河南尚宇新能源股份有限公司 |
发明人 |
秦永红;张世斌;王良珣;陈建祥;赵建桥;张丽娜 |
分类号 |
B01D5/00(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
B01D5/00(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种三氯氢硅尾气加压处理装置,包括缓冲罐、换热器、压缩机、5℃水冷凝器、 35℃盐水冷凝器,其特征在于:所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连,所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连,5℃水冷凝器气相出口与 35℃盐水冷凝器气相进口相连。 |
地址 |
454592 河南省焦作市沁阳市沁北工业集聚区 |