微电子元件框架干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种微电子元件框架干燥装置，包括风刀，其特征在于，还包括有至少两个可转动的吸水轮，两个吸水轮之间具有可允许微电子元件框架穿过的间隙；以微电子元件框架的运动方向为准，吸水轮安装在风刀之前。本实用新型中的微电子元件框架干燥装置，在风刀之前使用吸水材料轮吸取微电子元件框架上的水，可除去大部水。仅使用冷风风刀即可将微电子元件框架吹干，无需使用热风风刀，节电、节能。由于料条表面已无水珠和肉眼能见的水分，料条处于半干状态，所以料条进入电镀工序后，能方便的去除氧化膜，产品的合格率也有所提高。

主权项

微电子元件框架干燥装置，包括风刀，其特征在于，还包括有至少两个可转动的吸水轮，两个吸水轮之间具有可允许微电子元件框架穿过的间隙；以微电子元件框架的运动方向为准，吸水轮安装在风刀之前。