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发明名称 RESIN COMPOSITION FOR FORMING FINE PATTERN AND METHOD FOR FORMING FINE PATTERN
摘要
申请公布号 EP1757990(A4) 申请公布日期 2011.04.27
申请号 EP20050743737 申请日期 2005.05.24
申请人 JSR CORPORATION 发明人 SAKAKIBARA, HIROKAZU;ABE, TAKAYOSHI;CHIBA, TAKASHI;KIMURA, TORU
分类号 G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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