一种三氯氢硅生产尾气粉尘处理的方法

摘要

本发明涉及一种生产三氯氢硅的方法及其设备，具体讲，涉及一种三氯氢硅生产过程中粉尘的处理方法及其设备。所述的三氯氢硅生产过程中的尾气和粉尘的混合物经过滤装置处理，所截留的粉尘再通过两步袋式过滤器处理，处理粉尘的袋式过滤器中设置有至少一个布袋吹管吹出氮气，所述布袋吹管包括设置在过滤器底部或顶部的主管、安装于主管上并平行于滤袋与滤袋之间的分管以及设置在分管上的至少一个喷嘴；所述袋式过滤器的粉尘入口处设置至少一个粉尘吹管，粉尘吹管吹出氮气，粉尘被吹散后沉积到袋式过滤器的底部。本发明尾气粉尘处理方法可实现连续作业、节省氮气的用量、降低了污染物的排放、制备出含有氯化铵的副产品。

主权项

一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理方法，其特征在于，所述的三氯氢硅生产过程中的产生的粉尘采用两步袋式过滤器处理，所述袋式过滤器设置有至少一个布袋吹管吹出氮气，所述布袋吹管包括设置在过滤器底部或顶部的主管、安装于主管上并平行于滤袋与滤袋之间的分管以及设置在每个分管上的至少一个喷嘴；所述袋式过滤器的粉尘入口处设置至少一个粉尘吹管，粉尘吹管吹出氮气，粉尘被吹散后沉积到袋式过滤器的底部。