用于化学气相沉积设备的装载室

摘要

本发明是一种用于化学气相沉积的装载室，包含一腔体，具有复数个将一基板容置其中的单组腔室，与复数个使基板输入与取出所经过的腔槽，形成在相对于单组腔室的一侧表面以及另一侧表面；以及至少一补强板，至少连接到形成有腔槽的腔体的一侧表面以及另一侧表面，强化腔体的强度以避免因在单组腔室之间的压差而产生一弯曲应力。

主权项

一种用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，包含：一腔体，具有复数个单组腔室以容纳一基板，并凭借至少一隔墙将其分割；复数个强度补强单元，是相互间隔而设置，且可拆卸地连结到所述隔墙的一下表面，以强化所述隔墙的一强度，以避免造成所述隔墙弯曲；以及复数个接触支撑条(contact support bar)，是连结到所述强度补强单元，并接触且支撑所述基板。