平板式等离子体发生装置

摘要

一种大气压下平板式等离子体发生装置，通过放电容器提供密闭空间、工作平台用于放置被处理物、交流脉冲电源为等离子体放电板提供放电电压、特斯拉线圈用来产生一个辅助放电、触发介质阻挡放电以及等离子体放电板用于主放电，由此该装置放电时，等离子体产生于放电板之外，这样该装置可以对形状更为复杂，尺寸更大的物品进行处理，应用范围也更加广泛，并且不需要高电压，不会产生电弧，安全性高，一次性处理面积大，处理时间短效率高。

主权项

一种平板式等离子体发生装置，包括左侧和右侧分别带有供气口(10)和出气口(11)的放电容器(1)，其特征在于：在放电容器(1)的侧面还设置有处理物送入口(12)，在该放电容器(1)内部自下而上依次设置上下移动式工作平台(2)、与一极接地的特斯拉供电电源(15)相连接的特斯拉线圈(14)以及与交流脉冲电源(3)相连接的等离子体放电板(16)。