| 发明名称 | 波导耦合表面等离子体激元光检测器 | ||
| 摘要 | 本发明波导耦合表面等离子体激元光检测器。金属半导体金属(MSM)装置将光从波导中的光模式耦合到MSM装置的电极表面上的表面等离子体激元(SPP)模式。一旦在SPP模式中，半导体中光的吸收便能在极小的区域中发生。这可允许缩小活动检测器区域，并允许用于电载流子的极短传输距离、低电容以及允许极低电压装置和/或极高频率。 | ||
| 申请公布号 | CN102032945A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN201010506878.4 | 申请日期 | 2010.09.25 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | B·A·布洛克 |
| 分类号 | G01J1/42(2006.01)I;H01L31/10(2006.01)I | 主分类号 | G01J1/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 柯广华;徐予红 |
| 主权项 | 一种设备，包括：波导，携带波导模式中的光信号；金属半导体金属(MSM)光检测器，包括：第一电极；第二电极；以及半导体材料，夹在所述第一电极与所述第二电极之间，其中所述MSM光检测器将所述光信号从波导模式转变为表面等离子体激元(SPP)模式。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||