| 发明名称 | 光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光刻胶组合物，其包含具有酸敏基团且不溶或难溶于碱性水溶液但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液中的树脂、产酸剂和式(I)表示的化合物：<img file="201010291997.2_ab_0.GIF" wi="260" he="65" />其中Z<sup>1</sup>表示C7-C20亚烷基、C3-C20二价饱和环基或通过结合至少一个C1-C6亚烷基与至少一个C3-C20二价饱和环基而形成的二价基团。 | ||
| 申请公布号 | CN102033426A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN201010291997.2 | 申请日期 | 2010.09.21 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 山口训史;金淳信;吉田勋;市川幸司 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;蔡胜有 |
| 主权项 | 1.一种光刻胶组合物，其包含具有酸敏基团且不溶或难溶于碱性水溶液但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液中的树脂、产酸剂和式(I)表示的化合物：<img file="FSA00000283686900011.GIF" wi="924" he="216" />其中Z<sup>1</sup>表示C7-C20亚烷基、C3-C20二价饱和环基或通过结合至少一个C1-C6亚烷基与至少一个C3-C20二价饱和环基而形成的二价基团。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||