基板处理装置和基板输送方法

摘要

本发明提供一种能简化输送制程程序设定并能以最佳的输送路径输送被处理基板的基板处理装置和基板输送方法，包括：搬入搬出部，具有相对于前开式晶圆传送盒进行晶圆的搬入或搬出的搬入搬出用输送机构；处理部，具有对晶圆进行规定处理的多个处理单元，具有相对于这些处理单元输送晶圆的主输送机构；多个交接单元，在搬入搬出部和处理部之间进行晶圆的交接；输送流程控制部，控制搬入搬出用输送机构和主输送机构输送晶圆的输送流程；选择部，选择搬入和搬出用的前开式晶圆传送盒和所使用的处理单元；输送制程程序作成部，根据由选择部选择的搬入用和搬出用的前开式晶圆传送盒以及处理单元，自动地选择使用的交接单元，自动地生成晶圆的输送路径。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：搬入搬出部，其具有载置用于收纳被处理基板的收纳容器的载置台；处理部，其具有对被处理基板进行规定处理的多个处理单元；多个交接单元，其用于在上述搬入搬出部和上述处理部之间进行被处理基板的交接；选择部，其用于进行被处理基板搬入用的收纳容器和被处理基板搬出用的收纳容器的选择和所使用的用于处理基板的处理单元的选择；输送制程程序作成部，根据由上述选择部选择的被处理基板搬入用的收纳容器和被处理基板搬出用的收纳容器以及处理单元，自动地从多个交接单元选择欲使用的交接单元，自动地生成被处理基板的输送路径并作成输送制程程序。