发明名称 |
用电感耦合等离子体质谱仪测定高纯MgO膜料中金属杂质的方法 |
摘要 |
用电感耦合等离子体质谱仪测定高纯MgO膜料中金属杂质的方法,该方法:(1)配制MgO膜料的待测溶液;(2)配制含有杂质的不同浓度的系列标准溶液样品;(3)选定电感耦合等离子体质谱仪的工作条件,选择待测元素同位素,Ca、Fe和As在H2模式下测定,Al、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Co、Cu、Zn、Zr、Mo、Cd、Sn、Sb、W、Pb和Bi在Ar模式下测定,对系列标准溶液样品进行分析,得到相应杂质的工作曲线Yn=aXn+b,对MgO膜料的待测溶液进行分析,得到杂质浓度值;(4)根据杂质浓度值,通过计算得到待测杂质元素的质量百分含量。本发明方法中采用的电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)以电感耦合等离子为激发源,以质谱为检测器,具有灵敏度高、检测限低、重现性好,能够准确、精确的测定高纯材料中的杂质元素。 |
申请公布号 |
CN102033101A |
申请公布日期 |
2011.04.27 |
申请号 |
CN200910093916.5 |
申请日期 |
2009.09.30 |
申请人 |
北京有色金属研究总院 |
发明人 |
墨淑敏;潘元海;王长华 |
分类号 |
G01N27/64(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/64(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
程凤儒 |
主权项 |
用电感耦合等离子体质谱仪测定高纯MgO膜料中金属杂质的方法,其特征在于,该方法包括以下操作步骤:(1)、将MgO膜料溶解于稀酸溶液中,加入Cs、Tl内标溶液,并用去离子水定容,得到MgO膜料的待测溶液;(2)、配制含有杂质Al、Cr、Mn、Ni、Co、Cu、Zn、Cd、Sn、Sb、Pb、Ca、Fe、As、Bi、V、Ti、Zr、Mo和W的不同浓度的系列标准溶液样品,并且在每个标准溶液样品中加入Cs、Tl的内标溶液;(3)、选定电感耦合等离子体质谱仪的工作条件,选择待测元素同位素,Ca、Fe和As在H2模式下测定,Al、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Co、Cu、Zn、Zr、Mo、Cd、Sn、Sb、W、Pb和Bi在Ar模式下测定,然后按照浓度由低到高对各杂质元素的系列标准溶液样品进行分析,从而得到相应杂质的工作曲线Yn=aXn+b,其线性相关系数r均要求大于0.9990,其中,X表示某杂质元素的浓度,Y为该浓度下杂质元素与内标元素的信号强度比值,n为Al、Cr、Mn、Ni、Co、Cu、Zn、Cd、Sn、Sb、Pb、Ca、Fe、As、Bi、V、Ti、Zr、Mo和W中的一种;然后对MgO膜料的待测溶液进行分析,得到待测溶液中某未知元素与内标元素的信号强度比值Yu,带入该元素的工作曲线得到MgO膜料的待测溶液中各待测元素的浓度值Cu;,依次得到Al、Cr、Mn、Ni、Co、Cu、Zn、Cd、Sn、Sb、Pb、Ca、Fe、As、BiV、Ti、Zr、Mo和W的浓度值;(4)、根据步骤(3)得到的样品溶液中待测杂质元素的浓度,通过计算得到待测杂质元素的质量百分含量。 |
地址 |
100088 北京市新街口外大街2号 |