用于测量和表征干涉式调制器的方法

摘要

本发明描述用以表征干涉式调制器或类似装置的各种方法。干涉式调制器上测得的电压可用于表征所述干涉式调制器的转变电压。可通过对测得的电流的积分来分析测得的电流以提供所述干涉式调制器的动态响应的指示。可使用频率分析来提供所述干涉式调制器的滞后窗或所述干涉式调制器的机械性质的指示。可通过信号相关来确定电容，且可使用扩展频谱分析来使噪声或干扰对各种干涉式调制器参数的测量的影响最小化。

主权项

一种识别MEMS装置中的转变电压的方法，所述方法包括：提供包括微机电系统(MEMS)装置的电路，所述电路经配置以针对所施加的电压提供大体上恒定的阻抗；向所述电路施加恒定电压持续一时间周期；测量所述MEMS装置上的依据时间而变的电压；以及基于对所述依据时间而变的电压的所述测量而识别转变电压。