利用电介质与金属层对的加强型滤光片

摘要

当较厚的锌基薄膜(30，32和34)作用为在后形成的银基薄膜(18，20和22)的种子层时，滤光片的“腐蚀”生能得以增强。滤光片内包括至少两对电介质与金属迭层对(12，14和16)，其中，锌基薄膜为电介质层的第二薄膜，而银基薄膜为金属层。锌基薄膜的锌含量至少为80％且厚度至少为15nm。为了进一步提高抗腐蚀性能，可将金加入银基薄膜中。

主权项

一种提供滤光片的方法，所述方法包括以下步骤：在基板上形成迭层以包括电介质层与金属层层对，包括通过以下步骤限定每一所述层对：形成透明电介质薄膜作为所述电介质层的第一薄膜，所述透明电介质薄膜的折射率至少为1.1；形成锌基薄膜作为所述电介质层的第二薄膜，所述锌基薄膜的锌含量至少为80％且厚度至少为15nm；以及形成银基薄膜作为所述金属层，所述银基薄膜与所述锌基薄膜接触。