一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法

摘要

本发明涉及气体的吸附分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，该三氯氢硅尾气为经过除尘、回收氯硅烷和回收氯化氢后的三氯氢硅尾气，含有85％的氢气和15％的氮气，该三氯氢硅尾气经加压加热后进入吸附系统，氢气在填料塔中被吸附剂吸附，吸附结束后，通过用真空泵从塔顶抽气，同时从填料塔的塔底通入净化的氢气的方式，将停留在填料塔内未被吸附的杂气排出填料塔，排杂结束后，用真空泵将吸附在填料塔内的氢气脱附并抽送至氯化氢合成炉回收利用；氮气从塔顶采出，经淋洗后通入布袋过滤器循环利用。该方法投资少、运行费用较低、工艺简单，氢气的回收率高，回收的氢气纯度高。

主权项

一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)对三氯氢硅尾气进行压缩、加热，所述三氯氢硅尾气为氢气和氮气；(b)压缩加热后的三氯氢硅尾气进入吸附系统中，三氯氢硅尾气中的氢气被吸附系统中填料塔内的吸附剂吸附，氮气从塔顶采出；(c)在填料塔停止吸附后，将净化的氢气从塔底通入，用负压泵从填料塔的塔顶将填料塔中停留的杂气抽送至中充缓冲罐，进行排杂，该杂气为未被吸附的氮气和少量氢气，排杂过程中，保持填料塔内压强不会降低，当净化的氢气前沿移动到塔顶时，排杂结束；(d)用真空泵从填料塔的底部将填料塔中被吸附的氢气抽送至氢气缓冲罐；(e)从塔顶采出的氮气经淋洗塔被水洗，将水洗后的氮气送至布袋过滤器循环利用；(f)将氢气缓冲罐中的氢气送至氯化氢合成炉回收利用。