一种基材载件、一种装载端口以及一种清洗基材载件的方法

摘要

于本发明第一实施态样中，是提供一基材载件，其包含一外壳，其可密封且可屏蔽至少一基材。该基材载件包括一通至该外壳的第一端口，且其适于在基材载件关闭时使气体流入该外壳。本发明亦提供其它多种实施态样。

主权项

一种基材载件，其至少包含：外壳，其可密封且可屏蔽至少一基材；第一端口，通至该外壳，其适于在基材载件关闭的同时使气体流入该外壳，以使该外壳内的压力超过该外壳外侧的压力；其中该第一端口包括第一密封件，其适于使气体源密封地连接至该第一端口；以及该第一端口包括第二密封件。