发明名称 Procédé d'élaboration d'une couche mixte de protection
摘要
申请公布号 FR1541731(A) 申请公布日期 1968.10.11
申请号 FR19670117835 申请日期 1967.08.11
申请人 COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE 发明人 RIGO SERGE
分类号 C23C14/02;H01L21/316;H01L29/00 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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