一种厚尺寸多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩的制备方法

摘要

本发明公开了一种厚尺寸多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩的制备方法，包括以下步骤：一、采用炭布与短炭纤维制备准三向预制体；二、将环氧树脂、稀释剂和固化剂混合制成环氧树脂胶液；三、将环氧树脂胶液喷涂或刷涂于步准三向预制体表面形成涂层，然后固化使准三向预制体表面硬化定型；四、将固化后的准三向预制体置于浸渍罐中浸渍；五、将浸渍后的准三向预制体进行炭化处理；六、机械加工后进行CVD涂层处理得到多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩。本发明成型工艺简单，制造成本较低，制备的多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩的保温效果好、抗气体冲刷性能优异、力学性能好。

主权项

一种厚尺寸多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)采用炭布与短炭纤维制备准三向预制体；所述准三向预制体的密度为0.20g/cm3～0.50g/cm3，厚度为100mm～220mm；(2)在常温下将环氧树脂、稀释剂和固化剂按100∶5～10∶8～20的质量比混合制成环氧树脂胶液；所述稀释剂为酒精、丙酮、甲苯或环氧树脂活性稀释剂，所述固化剂为二乙烯三胺、乙二胺、三乙烯四胺或聚酰胺；(3)将步骤(2)中所述环氧树脂胶液喷涂或刷涂于步骤(1)中所述准三向预制体表面形成厚度为0.5mm～5mm的涂层，然后将形成涂层后的准三向预制体固化使准三向预制体表面硬化定型；(4)将步骤(3)中经固化后的准三向预制体置于浸渍罐中，采用氨酚醛树脂作为浸渍剂，在抽真空条件下浸渍4h～12h；所述氨酚醛树脂的粘度为150mPa·s～500mPa·s，所述氨酚醛树脂的固体含量为40％～60％；(5)将步骤(4)中经浸渍后的准三向预制体置于炭化炉中，在抽真空的条件下进行炭化处理，当准三向预制体的密度达到0.60g/cm3～0.90g/cm3时停止炭化处理，随炉冷却得到预制体；(6)将步骤(5)中所述预制体进行机械加工，然后将机械加工后的预制体置于化学气相沉积炉中进行CVD涂层处理，待预制体表面形成厚度为5μm～150μm的涂层后停止CVD涂层处理，随炉冷却即得到直径为1000mm～1800mm，高度为200mm～1500mm，厚度为80mm～220mm的多晶硅氢化炉用炭/炭保温罩。