| 发明名称 | 一种半导体生产中的晶舟移动器 | ||
| 摘要 | 为了解决现有的晶舟移动器对晶舟的固定不够牢固的问题，本实用新型公开了一种半导体生产中的晶舟移动器，包括与晶舟舟体51形状对应的支撑面板1，支撑面板1上端设有定位齿锁2，使用时支撑面板1与晶舟舟体51放置在一起相互吻合后，定位齿锁2可从晶舟舟体51上端的横梁52内侧扣住晶舟横梁52、支撑面板1固定于把手4的端部41，锁扣件3下端凸梁33与把手4两侧面凹槽44相配合，锁扣件3在把手4上滑动，当锁扣件3向固定支撑面板1的端部41滑动时，其前部的扣盖31可扣在晶舟横梁52上，正是由于锁扣件3前部的扣盖31可扣在晶舟横梁52上，因此解决了对晶舟的固定不够牢固的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201812804U | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN200920277679.3 | 申请日期 | 2009.12.07 |
| 申请人 | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 | 发明人 | 官春林 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 郭润湘 |
| 主权项 | 一种半导体生产中的晶舟移动器，其特征在于，包括：支撑面板(1)、定位齿锁(2)、锁扣件(3)和把手(4)，支撑面板(1)与晶舟舟体(51)形状对应，支撑面板(1)上设有定位齿锁(2)，定位齿锁(2)用于在支撑面板(1)与晶舟舟体(51)放置在一起相互吻合后，从晶舟舟体(51)上的横梁(52)内侧扣住晶舟横梁(52)，支撑面板(1)固定于把手(4)的端部(41)，锁扣件(3)的凸梁(33)与把手(4)两侧面凹槽(44)相配合，锁扣件(3)在把手(4)上滑动，当锁扣件(3)向固定支撑面板(1)的端部(41)滑动时，其前部的扣盖(31)可扣在晶舟横梁(52)上。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层 | ||