确定阈值电压变化的阵列表征电路、系统和方法

摘要

一种用于确定阈值电压变化的表征阵列和方法，快速地提供用于处理验证和改进的精确阈值电压分布值。该表征阵列包括用于在该阵列内的个别的设备施加固定的漏极-源极电压和恒定沟道电流的电路。在该阵列内还包括用于感测个别的设备的源极电压的电路。通过把每个源极电压偏移通过完全地描述在该阵列内的一个或多个设备的特性所确定的值，来从该源极电压分布中直接地确定该阈值电压的统计分布。作为结果的方法避免了另外描述在该阵列内的每个设备的特性的需要，因此显著地减少测量时间。

主权项

一种用于描述在设备的阵列中的阈值电压变化的特性的方法，该方法包括：选择在所述阵列内的设备作为被测设备；在提供跨在所述被测设备的沟道上的预定沟道电压、和在所述被测设备的栅极端子处的预定栅极电压时，提供经过所述被测设备的沟道的预定电流；测量在所述被测设备的源极端子处的源极电压；对在所述阵列内的多个设备，重复所述选择、所述提供和所述测量，以获得一组源极电压测量结果；通过施加调整值，来从所述的一组源极电压测量结果中，计算关于所述多个设备的一组阈值电压；以及分析所述的一组阈值电压，以生成所述阈值电压变化的描述，其中，通过将源极跟随器电路的输入端连接到所述被测设备的所述源极端子，并且将所述源极跟随器电路的输出端连接到所述被测设备的漏极端子，来执行在提供跨在所述沟道上的预定沟道电压时，经过所述设备的沟道的预定电流的所述提供。