发明名称 Improvements in or relating to apparatus for depositing thin films
摘要
申请公布号 GB1131189(A) 申请公布日期 1968.10.23
申请号 GB19660056796 申请日期 1966.12.19
申请人 CONSOLIDATED VACUUM CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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