发明名称 Prägemaschine und Verfahren zur Herstellung eines Artikels unter deren Verwendung
摘要 <p>An imprinting machine that brings a mold having a pattern into contact with an object and transfers the pattern onto the object includes a measurement unit that measures a position of the mold when the mold contacts the object.</p>
申请公布号 DE602005026767(D1) 申请公布日期 2011.04.21
申请号 DE20056026767T 申请日期 2005.12.08
申请人 CANON K.K. 发明人 NAKAMURA, TAKASHI;OTA, HIROHISA;KAWAKAMI, EIGO;KASUMI, KAZUYUKI;TOKITA, TOSHINOBU
分类号 G03F7/00;G03F9/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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