发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Substrats aus GaN-Kristall
摘要
申请公布号 DE602005026737(D1) 申请公布日期 2011.04.21
申请号 DE200560026737T 申请日期 2005.01.11
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD. 发明人 OKAHISA, TAKUJI
分类号 C30B29/38;C30B29/40;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/786;H01L27/12 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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