| 发明名称 |
ATOMIC LAYER DEPOSITION APPARATUS AND LOADING METHODS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20110041547(A) |
申请公布日期 |
2011.04.21 |
| 申请号 |
KR20117004339 |
申请日期 |
2009.07.07 |
| 申请人 |
PICOSUN OY |
发明人 |
LINDFORS SVEN;POUTIAINEN JUHA ALLAN KUSTAA ADOLF |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/28 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
