Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Eine oder mehrere Ausführungsformen beziehen sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Kondensators wie z.B. eines Grabenkondensators. Das Verfahren weist auf: Vorsehen eines Substrats; Ausbilden einer Öffnung innerhalb des Substrats; Ausbilden einer Seitenwand-Abstandsschicht über einer Seitenwandoberfläche der Öffnung; Ausbilden einer ersten leitenden Schicht innerhalb der Öffnung nach dem Ausbilden der Seitenwand-Abstandsschicht; Entfernen der Seitenwand-Abstandsschicht; Ausbilden einer dielektrischen Schicht über der ersten leitenden Schicht innerhalb der Öffnung; und Ausbilden einer zweiten leitenden Schicht über der dielektrischen Schicht innerhalb der Öffnung.