| 摘要 |
<p>Heizvorrichtung für Siliziumstäbe in Polysilizium-Reaktoren, bei der ein Plasmagenerator mit einer, von einem Plasmagas (PG) durchströmten Anoden-Kathodenanordnung (7, 10, 12) zur Ausbildung eines Lichtbogens vorgesehen ist, wobei es sich bei dem Plasmagas (PG) um eine zeitliche Abfolge eines relativ zu Wasserstoff leichter zu ionisierenden Gases und Wasserstoff handelt, und die Anoden-Kathodenanordnung (7, 10, 12) von einer ersten, vom Plasmagas (PG) durchströmten Anodendüse (10), sowie einer im Eintrittsbereich der ersten Anodendüse (10) in axialer Richtung geringfügig beabstandeten Kathode (12), und einer im Austrittsbereich der ersten Anodendüse (10) axial angeordneten, zweiten Anodendüse (7) gebildet wird, die von der ersten Anodendüse (10) durch einen Isolierkörper getrennt ist. Die Anoden-Kathodenanordnung (7, 10, 12) und der Isolierkörper können mit Wasserstoff gekühlt werden. Die erfindungsgemäße Heizvorrichtung kann somit in einer Wasserstoffatmosphäre betrieben werden, sodass der Polysilizium-Reaktor nicht mehr geöffnet werden muss. Die erfindungsgemäße Heizvorrichtung kann somit während des etwa hundertstündigen Abscheidprozesses von Silizium im Polysilizium-Reaktor verbleiben.</p> |
