线电极电化学磨削微细工具在线制备系统及方法

摘要

本发明涉及一种线电极电化学磨削微细工具在线制备系统及方法，属微细电化学加工领域。微尺度线电极固定在电解液槽中，并通过微张力装置张紧，将工具电极连接到数控旋转主轴上，使电解液充满电解液槽，微尺度线和工具电极浸没在电解液中，两者之间保持一个加工间隙，接通脉宽电源，利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，腐蚀工具电极成型。加工过程中，利用数控旋转主轴使工具电极产生一定角速度的旋转或进行分度，同时利用三轴运动平台产生Z轴方向的匀速进给，以得到所需截面形状的微细工具。尺寸控制是通过电流传感器采集加工回路中的电流，利用加工电流与钨丝电阻的对应关系反映腐蚀过程中钨丝尺寸的变化，从而进行精确控制。

主权项

一种线电极电化学磨削微细工具在线制备系统，其特征在于：包括机床工作台(12)、安装于机床工作台上的三轴运动平台(5)、安装于三轴运动平台上的数控旋转主轴(4)、通过夹头(7)安装于数控旋转主轴上的工具电极(7)；还包括安装于机床工作台(12)上的XY两维数控工作台(11)、安装于XY两维数控工作台(11)上的电解液槽(16)；还包括微张力装置；其中微张力装置依次包括计算机(1)、压电伺服控制器(21)、压电陶瓷位移轴(20)、微拉力传感器(18)、微尺度线电极(13)；微张力装置还包括安装于上述电解液槽(16)中的导向轮(15)和电极夹具(9)；所述微尺度线电极(13)一端与所述微拉力传感器(18)相连，另一端经过所述导向轮(15)与电极夹具(9)相连；微张力装置还包括一端与微拉力传感器(18)相连另一端与计算机(1)相连的信号放大器(22)；还包括脉宽电源(2)，电源负极连接所述微尺度线电极(13)，电源正极连接所述工具电极(7)；还包括一端与微尺度线电极(13)相连另一端与计算机(1)相连的电流传感器(3)。