复合结构物

摘要

提供一种复合结构物，其提高了形成在基材表面上的由氧化钇形成的结构物的机械强度。本发明中，形成在基材表面上的由氧化钇形成的结构物的主要成分为氧化钇多晶体，在构成结构物的晶体之间的界面基本上不存在由玻璃质形成的晶界层，进而使氧化钇多晶体的晶体结构中混合存在立方晶系(cubic)和单斜晶系(monoclinic)，由此可使形成在基材表面上的由氧化钇形成的结构物的硬度比氧化钇烧结体的硬度更大。

主权项

复合结构物，其特征在于，该复合结构物在基材表面通过气溶胶沉积法形成有由氧化钇形成的结构物，前述结构物的90wt％以上为氧化钇多晶体，在构成前述结构物的晶体之间的界面基本上不存在由玻璃质形成的晶界层，进而为了在构成前述结构物的前述氧化钇多晶体的晶体结构中立方晶系和单斜晶系混合存在，在前述气溶胶沉积法中，气溶胶包含：形成前述结构物的氧化钇微粒；和，粒径比前述氧化钇微粒大的、作为制膜辅助颗粒而发挥作用的氧化铝微粒，所述制膜辅助颗粒除了碰撞基材后反射、且不可避免地混入之外，不直接作为前述结构物的构成材料。