Integration of automated cryopump safety purge,申请号EP20080075586-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Integration of automated cryopump safety purge
摘要
申请公布号	EP1980748(B1)	申请公布日期	2011.04.20
申请号	EP20080075586	申请日期	2004.06.09
申请人	BROOKS AUTOMATION, INC.	发明人	AMUNDSEN, PAUL E;BUONPANE, MAUREEN;ANDREWS, DOUG;JACOBS, JORDAN
分类号	F04B37/08;F04B49/06	主分类号	F04B37/08
代理机构		代理人
主权项
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