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发明名称 RADIAL POWER MEGASONIC TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP1449268(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20020803970 申请日期 2002.11.01
申请人 PRODUCT SYSTEMS INCORPORATED 发明人 BECK, MARK, J.;VENNERBECK, RICHARD, B.;LILLARD, RAYMOND, Y.;LIEBSCHER, ERIC, G.
分类号 G10K11/32;B08B3/12;H01L41/09;H01L21/304;H01L25/00;H04R1/34;H04R23/00 主分类号 G10K11/32
代理机构 代理人
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