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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1422747(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20020746087 申请日期 2002.07.16
申请人 JP 发明人 JP;JP
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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