发明名称 半导体部件
摘要 本发明涉及半导体部件,该半导体部件包括半导体主体、位于半导体主体中的沟道区、与沟道区相邻的沟道控制电极、以及位于沟道区和沟道控制电极之间的介电层,其中介电层具有负温度系数的相对介电常数εr。
申请公布号 CN102024793A 申请公布日期 2011.04.20
申请号 CN201010510520.9 申请日期 2010.08.25
申请人 英飞凌科技奥地利有限公司 发明人 H-J·舒尔策;F·普菲尔施
分类号 H01L23/62(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I 主分类号 H01L23/62(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李娜;王忠忠
主权项 一种半导体部件,包括:半导体主体(1);沟道区(2),位于半导体主体(1)中;沟道控制电极(3),与沟道区(2)相邻;介电层(4),位于沟道区(2)和沟道控制电极(3)之间;其中,介电层(4)包括具有负温度系数的相对介电常数εr。
地址 奥地利菲拉赫