用于检测透明平板的局部缺陷的装置和方法

摘要

本发明提供用于检测透明平板的局部缺陷的装置，包括：面阵相机(3)；镜头(5)，镜头可沿着竖直方向移动以调整从镜头到面阵相机的像距；可形成明场反射的准直光源(11)；可形成暗场反射的低角度环形光源(13)；以及可形成明场透射的背光散射光源(15)。本发明还提供用于检测透明平板的局部缺陷的方法。根据本发明的装置和方法不仅能够识别透明平板的各种局部缺陷，而且能够确定局部缺陷的三维位置。

主权项

一种用于检测透明平板的局部缺陷的装置，包括：用于记录所述将被检测的透明平板的图像的面阵相机(3)，所述面阵相机(3)位于所述将被检测的透明平板一侧；位于所述面阵相机(3)与所述将被检测的透明平板之间的镜头(5)；位于所述将被检测的透明平板一侧并且发射平行光的准直光源(11)，所述平行光能够从所述准直光源(11)直接投射到所述将被检测的透明平板上、并且被所述将被检测的透明平板反射到所述镜头(5)，以形成明场反射；位于所述将被检测的透明平板一侧的低角度环形光源(13)，来自所述低角度环形光源(13)的光能够与所述将被检测的透明平板的表面成锐角地投射到所述将被检测的透明平板上、并且与所述将被检测的透明平板的表面成锐角地从所述将被检测的透明平板的表面反射，以形成暗场反射；以及位于所述将被检测的透明平板另一侧的背光散射光源(15)，来自背光散射光源(15)的散射背光能够透过所述将被检测的透明平板，使得大部分散射背光通过所述镜头(5)被所述面阵相机(3)收集以形成明场透射。