发明名称 |
太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置 |
摘要 |
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池PECVD镀膜设备技术领域,特别是一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括固定支架,铰接机构和风扇,风扇通过铰接机构安装在固定支架上,固定支架安装在镀膜机下料端载车的上方,风扇的角度通过铰接机构进行调节,使风扇吹出的冷却风吹向下料端上的硅片。在下料端安装上本风冷散热装置,调整好风向和大小,能有效地冷却镀膜硅片,防止硅片温度较高导致抓手异常,造成设备报警当机和热应力导致碎片发生。 |
申请公布号 |
CN201801591U |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN201020548389.0 |
申请日期 |
2010.09.29 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
李锋 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,其特征是:包括固定支架(3),铰接机构(4)和风扇(2),所述的风扇(2)通过铰接机构(4)安装在固定支架(3)上,固定支架(3)安装在镀膜机下料端载车(1)的上方,铰接机构(4)为可扭转结构,风扇(2)的角度通过铰接机构(4)进行调节,使风扇(2)吹出的冷却风吹向镀膜机下料端载车(1)上的硅片。 |
地址 |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |