СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ГРАДИЕНТНОГО ОКСИДНОГО ПОКРЫТИЯ КАТАЛИТИЧЕСКОГО КЛАССА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

摘要

Способ получения наноструктурированного градиентного оксидного покрытия каталитического класса методом магнетронного напыления, включающий нанесение в вакуумной камере на подложку материала адгезионно-оксидного слоя путем напыления в среде кислорода, отличающийся тем, что подготовленную металлическую подложку предварительно нагревают в вакууме до температуры 400-450°С, затем осуществляют напыление металлической композиции, например, системы (Ti-Ru), (Ti-Ru-Ir), (Zr-Ru), в среде плазмообразующего газа аргона и реакционного газа кислорода, причем давление аргона поддерживают постоянным в течение всего процесса напыления, а парциальное давление кислорода изменяют по линейному закону от 0 до 8×10-2 Па в течение 10 мин, и при установившемся давлении кислорода наносят наноструктурированное оксидное покрытие требуемой толщины.