具有高硬度的可旋转溅射磁控管

摘要

本发明介绍了可插入可旋转目标中的溅射磁控管(300)。磁控管设计成单件的多壁管(102、203)，具有在管的长度上延伸的隔腔(316、316′、318、318′)。多壁管与现有技术磁控管相比产生了硬得多的磁控管载体结构。因此，磁场产生器可以安装在隔腔内部，且在磁体和目标表面之间的距离可容易地调节，因为管比产生器硬得多。另外，冷却剂槽道可以包含在管内部，并靠近管的外壁，这样，可以邻近磁场产生器供应冷却剂。磁控管增大的硬度使得目标管至少在该目标的使用寿命的一部分中能够由磁控管承载，而不是周围其它方式。因此，可以使用薄的目标载体管，因为它们不必承载磁控管，从而导致使用该目标时间更长。

主权项

一种溅射磁控管(100、200、300)，所述溅射磁控管可插入可旋转目标中，该溅射磁控管包括：管(102、202)，该管有一个或多个冷却剂槽道(218、218′)；以及细长的磁场产生器(224、226、226′、226″)，所述冷却剂槽道和所述磁场产生器包含在所述管的内部，其特征在于：所述管为单件的内部多壁管(102、202)，有隔腔(114、214、116、116′、216、216′、118、118′、218、218′、112、212)，所述隔腔基本在所述管的长度上延伸，用于增加所述管的弯曲硬度，所述隔腔(114、214)中的一个用于安装所述产生器，且所述隔腔中的至少一个形成冷却剂槽道(218、218′)。