运送系统

摘要

本发明提供一种能够提高效率的运送系统。其技术方案包括：控制装置(7)根据第1拍摄装置(5)所拍摄的拍摄数据确认被拾取夹具下一次吸附的电子元件的位置，移动固定晶圆框架(W)的固定部，使电子元件位于拾取夹具的吸附端。由此，可以不设置用于矫正姿态的工序或处理装置，因此，能够缩短处理时间。另外，由于能够不用夹住电子元件地矫正姿态，因此，能够防止电子元件的破损，能够防止由清理破损的电子元件所引起的效率低下。

主权项

一种运送系统，其特征在于，包括：支持部，支撑保持贴有电子元件的晶圆薄板的晶圆框架；移动部，使该支持部在沿所述晶圆薄板的平面的方向上移动；第1吸附部，包括依次从所述晶圆薄板上吸附所述电子元件的多个第1夹具；第1相机，拍摄贴在所述晶圆薄板上、被所述第1夹具下一次吸附的电子元件；控制部，根据该第1相机拍摄的拍摄数据移动所述移动部。