发明名称 Structure with a cavity comprising a bonding interface made from a getter material
摘要 <p>Structure (100) comportant une cavité (106) délimitée par un premier substrat (102) et un second substrat (108) solidarisé au premier substrat par une interface de collage, dans laquelle une première partie (114) d'une première portion (110) d'un matériau getter forme une partie de l'interface de collage et une seconde partie (116) de la première portion de matériau getter est disposée dans la cavité, la première portion de matériau getter étant disposée contre le premier substrat ou le second substrat, l'interface de collage comportant en outre une partie d'une seconde portion (112) d'un matériau getter thermocompressée à la première partie de la première portion de matériau getter, ladite seconde portion de matériau getter étant disposée contre le second substrat lorsque la première portion de matériau getter est disposée contre le premier substrat ou disposée contre le premier substrat lorsque la première portion de matériau getter est disposée contre le second substrat. </p>
申请公布号 EP2308797(A3) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20100186355 申请日期 2010.10.04
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 BAILLIN, XAVIER
分类号 B81B7/00;H01L23/26 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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