| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Flaechentransistors mit einlegierter Elektrodenpille, aus welcher beim Einlegieren Stoerstoffe verschiedener Diffusionskoeffizienten in den Halbleitergrundkoerper eindiffundiert werden |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1288687(B) |
申请公布日期 |
1969.02.06 |
| 申请号 |
DE1958I014943 |
申请日期 |
1958.06.06 |
| 申请人 |
IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GMBH |
发明人 |
S. SCHWARTZ, ROBERT;NEWTON SLADE, BERNARD |
| 分类号 |
C30B31/04;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/228;H01L21/24;H01L29/00;H01L29/73 |
主分类号 |
C30B31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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