发明名称 Device and method for producing dielectric layers in microwave plasma
摘要
申请公布号 EP2311066(A1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20090777647 申请日期 2009.08.04
申请人 HQ-DIELECTRICS GMBH 发明人 LERCH, WILFRIED;NENYEI, ZSOLT;THEILER, THOMAS;GSCHWANDTER, ALEXANDER
分类号 H01J37/32;C23C16/511 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址