发明名称
摘要
申请公布号 JP4673198(B2) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 JP20050341772 申请日期 2005.11.28
申请人 发明人
分类号 C30B25/04;C23C16/04;C23C16/34;H01L21/205 主分类号 C30B25/04
代理机构 代理人
主权项
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