发明名称 |
模的制造方法和使用模的反射防止膜的制造方法 |
摘要 |
本发明的蛾眼用模的制造方法包括:工序(a):准备Al的含量为不到99.99质量%的Al基材;工序(b),通过使Al基材部分地阳极氧化,形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层;工序(c),在工序(b)之后,通过使多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触,使多孔氧化铝层的多个微细凹部扩大;以及工序(d),在工序(c)之后通过进一步地阳极氧化使多个微细凹部生长。 |
申请公布号 |
CN102027160A |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200980102799.2 |
申请日期 |
2009.12.22 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
伊原一郎 |
分类号 |
C23F17/00(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;C23F1/00(2006.01)I;C25D11/04(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I |
主分类号 |
C23F17/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市隆安律师事务所 11323 |
代理人 |
权鲜枝 |
主权项 |
一种模的制造方法,用于在表面形成具有多个第1凸部的蛾眼构造,上述第1凸部从表面的法线方向看时的二维大小为10nm以上且不到500nm,上述模的制造方法包括如下工序:(a)准备Al的含量为不到99.99质量%的Al基材;(b)通过对上述Al基材部分地进行阳极氧化,形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层;(c)在上述工序(b)之后,通过使上述多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触,使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大;以及(d)在上述工序(c)之后,进一步进行阳极氧化,由此使上述多个微细凹部生长。 |
地址 |
日本大阪府 |