用于盘状衬底除气的装置

摘要

本发明涉及一种装置，用于为在真空的环境中的板状的衬底(10)除气，具有两个基本扁平的平行的体(11，12)，所述体具有小于其纵向长度(l)的间隔(d)，并形成一个中间腔(28)，和所述衬底(10)设置在所述体(11，12)之间，所述体中的至少一个体在边缘区域中突出，其中在至少一个体(11，12)中设有气体供应机构(13)，用于在所述中间腔(28)中产生沿着所述体(11，12)和所述衬底(10)在径向方向朝向所述体(11，12)的外围的层流的气流；和在那里设有抽气孔(14)，用于将所述气流抽出。

主权项

用于对真空环境中的板状的衬底(10)除气的方法，具有基本扁平的平行的两个体(11，12)，所述体具有小于其纵向长度(1)的间隔(d)而形成一个中间腔(28)，和一个扁平的衬底(10)设置在所述体(11，12)之间，在所述体(11，12)的至少一个中设有至少一个气体供应机构(13)，其用于在所述中间腔(28)中产生气流，其特征在于，在所述中间腔(28)中的所述气流是不受干扰的层流的气流，所述气流具有10至50mbar的工作压力并且沿着所述体(11，12)和所述衬底(10)在径向方向朝向所述体(11，12)的外围引导；和在那里通过环绕衬底(10)的至少一个抽气孔(14)将所述气流抽出，并且由此利用它的抽气孔(17)确定或限定抽气速度，并且将体间隔(d)保持在5mm至30mm的范围内，扁平的所述体(11，12)基本水平设置并且衬底(10)置于至少三个针脚(28)上，这些针脚安装在位于下方的板状的体(11)上并由此在衬底(10)和板状的体(11)之间确定间隙状的间隔，其中至少一个气体供应机构构成气体喷射点，气体喷射点的设计产生限定的自身决定的气流，方法是气体喷射点具有孔(18)，该气体喷射点所具有的孔提高速度并且限定气体量并且接着通入到具有明显扩大的直径(20)的孔中，该具有明显扩大直径(20)的孔形成出口，该出口使得气流的层流流动在衬底(10)的区域中实现。