发明名称 Imprint lithography
摘要
申请公布号 EP1783547(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20060255420 申请日期 2006.10.21
申请人 ASML NETHERLANDS BV 发明人 SIMON, KLAUS
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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