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发明名称 SUSCEPTOR RING
摘要
申请公布号 KR20110040967(A) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 KR20117005054 申请日期 2009.05.20
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 AGGARWAL RAVINDER;HARO BOB
分类号 H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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